Инструмент для анализа FTIR-спектров

Показать описание / Скрыть описание

Этот инструмент решает обычную для FTIR-спектрометрии задачу: идентификацию пиков поглощения по спектру пропускания образца тонкой твёрдотельной плёнки, полученного на инфракрасном спектрометре. Для этого исходные данные спектра пропускания (k, T) преобразуются в спектр поглощения (k, α):

$\alpha(k) = - \frac{1}{2 w \sqrt{2}} \log\left(\frac{T(k)}{1 - r^2}\right).$

Ширина образца плёнки w — результат прямого измерения с помощью микроскопа. Величина отражения r вычисляется как r = 1 − Tₒ из максимального уровня пропускания Tₒ без учёта осцилляций (пунктирная линия в режиме автоопределения).

Демонстрационный спектр, доступный здесь в качестве вводных данных по умолчанию, получен для тонкой кремниевой плёнки шириной 53 микрона, обработанной методом электрохимического травления в растворе плавиковой кислоты.

1. Редактируем и применяем спектр пропускания (k, T) или поглощения (k, α). Единицы измерения: волновое число, k в см⁻¹, величина пропускания, T в %.

Следующие несколько шагов необходимы для преобразования спектра пропускания (k, T) в спектр поглощения (k, α). Если исходные данные — спектр поглощения (k, α), эти шаги можно пропустить и перейти напрямую к определению пиков.

Толщина плёнки, мкм:

Отражение плёнки (автоопределение добавит пунктирную линию на исходном спектре):

2. Преобразуем (k, T) в (k, α).

Встроенная в этот инструмент таблица содержит данные пиков для кремниевых плёнок. Если она применима, переходим к определению пиков. Если не применима, её можно заменить.

3. Определяем пики поглощения.